НВД-1200×2НВЗ-120
|
Система состоит из 1-2 плунжерных насосов и 1-2 насосов Рутса. Насосы Рутса подсоединены последовательно к плунжерному насосу, плунжерные насосы могут работать параллельно. При работе на низком вакууме рекомендуются соотношение скорости откачки насоса Рутса к плунжерному от 2:1 до 4:1, при работе на высоком вакууме: от 4:1 до 10:1.
Достоинства систем:
- Высокий вакуум, высокая эффективность на среднем и высоком вакууме, широкий диапазон рабочих давлений, энергосбережение.
- Компактная структура, требует минимум места для установки.
- Высокая автоматизация, простая эксплуатация, легкое обслуживание, надежная и долговечная работа.
- Возможность создания специальной системы по техническому заданию Заказчика из готовых стандартных модулей.
Область применения
Широко используется в вакуумном нанесении покрытий, вакуумной металлургии, вакуумной сушке, вакуумном насыщении, вакуумной фильтрации, производстве поликристаллического кремния, аэрокосмическом моделировании и т.д.
Стандартные системы на базе одноступенчатого плунжерного насоса и насоса Рутса
| Модель |
Основной насос 50Гц |
Фор-
вакуумный насос |
Произ-
води-
тельность (л/с) |
Предельное парциальное давление (Па) |
Предельное общее давление (Па) |
Мощность двигателя (кВт) |
Впускное отверстие (мм) |
Выпускное отверстие (мм) |
| C НВЗ 75-Р25 |
НВД-75 |
НВЗ-25 |
75 |
0,05 |
0,8 |
4,4, 3,7 |
100 |
40 |
| C НВЗ 110-Р25 |
НВД-110 |
НВЗ-25 |
110 |
0,05 |
0,8 |
4,4, 3,7 |
100 |
40 |
| C НВЗ 150-Р25 |
НВД-150 |
НВЗ-25 |
150 |
0,05 |
0,8 |
5,2 4,5 |
100 |
40 |
| C НВЗ 220-Р50 |
НВД-220 |
НВЗ-50 |
220 |
0,05 |
0,8 |
8, 6 |
100 |
50 |
| C НВЗ 220-Р60 |
НВД-220 |
НВЗ-60 |
220 |
0,05 |
0,8 |
8, 7 |
100 |
50 |
| C НВЗ 300-Р70 |
НВД-300 |
НВЗ-70 |
300 |
0,05 |
0,8 |
9,5 |
150 |
63 |
| C НВЗ 300-Р100 |
НВД-300 |
НВЗ-100 |
300 |
0,05 |
0,8 |
11,5 |
150 |
63 |
| C НВЗ 600-Р100 |
НВД-600 |
НВЗ-100 |
600 |
0,05 |
0,8 |
15, 13 |
200 |
63 |
| C НВЗ 600-Р120 |
НВД-600 |
НВЗ-120 |
600 |
0,05 |
0,8 |
15, 13 |
200 |
63 |
| C НВЗ 600-Р150 |
НВД-600 |
НВЗ-150 |
600 |
0,05 |
0,8 |
18,5 16,5 |
200 |
80 |
| C НВЗ 600-Р160 |
НВД-600 |
НВЗ-160 |
600 |
0,05 |
0,8 |
18,5 16,5 |
200 |
80 |
| C НВЗ 600-Р220 |
НВД-600 |
НВЗ-220 |
600 |
0,05 |
0,8 |
22,5 20,5 |
200 |
100 |
| C НВЗ 1200-Р150 |
НВД-1200 |
НВЗ-150 |
1200 |
0,05 |
0,8 |
22 |
250 |
80 |
| C НВЗ 1200-Р160 |
НВД-1200 |
НВЗ-160 |
1200 |
0,05 |
0,8 |
22 |
250 |
80 |
| C НВЗ 1200-Р220 |
НВД-1200 |
НВЗ-220 |
1200 |
0,05 |
0,8 |
26 |
250 |
100 |
| C НВЗ 1200-Р300 |
НВД-1200 |
НВЗ-300 |
1200 |
0,05 |
0,8 |
33 |
250 |
100 |
| C НВЗ 1800-Р220 |
НВД-1800 |
НВЗ-220 |
1800 |
0,05 |
0,8 |
30 |
250 |
100 |
| C НВЗ 1800-Р300 |
НВД-1800 |
НВЗ-300 |
1800 |
0,05 |
0,8 |
37 |
250 |
100 |
| C НВЗ 1800-Р600 |
НВД-1800 |
НВЗ-600 |
1800 |
0,05 |
0,8 |
60 |
250 |
150 |
| C НВЗ 2500-Р220 |
НВД-2500 |
НВЗ-220 |
2500 |
0,05 |
0,8 |
37 |
300 |
100 |
| C НВЗ 2500-Р300 |
НВД-2500 |
НВЗ-300 |
2500 |
0,05 |
0,8 |
44 |
300 |
100 |
| C НВЗ 2500-Р600 |
НВД-2500 |
НВЗ-600 |
2500 |
0,05 |
0,8 |
67 |
300 |
150 |
| C НВЗ 5000-Р600 |
НВД-5000 |
НВЗ-600 |
5000 |
0,05 |
0,8 |
82 |
400 |
150 |
Стандартные системы на базе двух плунжерных насосов и Рутса
| Модель |
Основной насос 50Гц |
Фор-
вакуумный насос |
Произ-
води-
тельность (л/с) |
Предельное парциальное давление (Па) |
Предельное общее давление (Па) |
Мощность двигателя (кВт) |
Впускное отверстие (мм) |
Выпускное отверстие (мм) |
| C 2НВЗ –Р75 |
НВД-75 |
2НВЗ-15 |
75 |
0,02 |
0,5 |
4,4, 3,7 |
100 |
40 |
| C 2НВЗ –Р110 |
НВД-110 |
2НВЗ-15 |
110 |
0,02 |
0,5 |
4,4, 3,7 |
100 |
40 |
| C 2НВЗ -Р150 |
НВД-150 |
2НВЗ-30 |
150 |
0,02 |
0,5 |
7, 6 |
100 |
50 |
| C 2НВЗ -Р220 |
НВД-220 |
2НВЗ-30 |
220 |
0,02 |
0,5 |
8, 6 |
100 |
50 |
| C 2НВЗ -Р220 |
НВД-220 |
2НВЗ-45 |
220 |
0,02 |
0,5 |
8, 7 |
100 |
50 |
| C 2НВЗ -Р220 |
НВД-220 |
2НВЗ-50 |
220 |
0,02 |
0,5 |
9,5 8,5 |
100 |
63 |
| C 2НВЗ -Р300 |
НВД-300 |
2НВЗ-50 |
300 |
0,02 |
0,5 |
9,5 |
150 |
63 |
| C 2НВЗ -Р300 |
НВД-300 |
2НВЗ-70 |
300 |
0,02 |
0,5 |
11,5 |
150 |
63 |
| C 2НВЗ -Р600 |
НВД-600 |
2НВЗ-70 |
600 |
0,02 |
0,5 |
15 |
200 |
63 |
| C 2НВЗ -Р600 |
НВД-600 |
2НВЗ-80 |
600 |
0,02 |
0,5 |
15 |
200 |
63 |
| C 2НВЗ -Р600 |
НВД-600 |
2НВЗ-100 |
600 |
0,02 |
0,5 |
18,5 16,5 |
200 |
80 |
| C 2НВЗ -Р600 |
НВД-600 |
2НВЗ-120 |
600 |
0,02 |
0,5 |
18,5 16,5 |
200 |
80 |
| C 2НВЗ -Р1200 |
НВД-1200 |
2НВЗ-150 |
1200 |
0,02 |
0,5 |
26 |
250 |
100 |
| C 2НВЗ -Р1200 |
НВД-1200 |
2НВЗ-220 |
1200 |
0,02 |
0,5 |
33 |
250 |
100 |
| C 2НВЗ -Р1800 |
НВД-1800 |
2НВЗ-220 |
1800 |
0,02 |
0,5 |
37 |
250 |
100 |
| C 2НВЗ -Р1800 |
НВД-1800 |
2НВЗ-450 |
1800 |
0,02 |
0,5 |
60 |
250 |
150 |
| C 2НВЗ -Р2500 |
НВД-2500 |
2НВЗ-220 |
2500 |
0,02 |
0,5 |
44, 40,5 |
300 |
100 |
| C 2НВЗ -Р2500 |
НВД-2500 |
2НВЗ-450 |
2500 |
0,02 |
0,5 |
67, 63,5 |
300 |
150 |
| C 2НВЗ -Р5000 |
НВД-5000 |
2НВЗ-450 |
5000 |
0,02 |
0,5 |
82 |
400 |
150 |
Примечание
Стандартные обозначения: С-система, 2НВЗ-2 плунжерных насоса НВЗ, Р-Рутс, 75-максимальная производительность.
Стандартные системы на базе одноступенчатого плунжерного насоса и каскада из 2-х Рутсов
| Модель |
Основной насос 50Гц |
Средний насос 50ГЦ |
Фор-
вакуумный насос |
Подача (л/с) |
Предель-
ное парциаль-
ное давление (Па) |
Предель-
ное общее давление (Па) |
Мощность двигателя (кВт) |
Впускное отверстие (мм) |
Выпускное отверстие (мм) |
| 2C НВЗ -25Р220 |
НВД-220 |
НВД-75 |
НВЗ-25 |
220 |
0,02 |
0,5 |
7,4 |
100 |
40 |
| 2C НВЗ -25Р300 |
НВД-300 |
НВД-75 |
НВЗ-25 |
300 |
0,02 |
0,5 |
8,4 |
150 |
40 |
| 2C НВЗ -50Р600 |
НВД-600 |
НВД-150 |
НВЗ-50 |
600 |
0,02 |
0,5 |
14,5 |
200 |
50 |
| 2C НВЗ -60Р1200 |
НВД-1200 |
НВД-220 |
НВЗ-60 |
1200 |
0,02 |
0,5 |
18 |
250 |
50 |
| 2C НВЗ -70Р1200 |
НВД-1200 |
НВД-220 |
НВЗ-70 |
1200 |
0,02 |
0,5 |
19,5 |
250 |
63 |
| 2C НВЗ -100Р1200 |
НВД-1200 |
НВД-300 |
НВЗ-100 |
1200 |
0,02 |
0,5 |
22,5 |
250 |
63 |
| 2C НВЗ -120Р1200 |
НВД-1200 |
НВД-300 |
НВЗ-120 |
1200 |
0,02 |
0,5 |
22,5 |
250 |
63 |
| 2C НВЗ -120Р1800 |
НВД-1800 |
НВД-300 |
НВЗ-120 |
1800 |
0,02 |
0,5 |
26,5 |
250 |
63 |
| 2C НВЗ -150Р1800 |
НВД-1800 |
НВД-600 |
НВЗ-150 |
1800 |
0,02 |
0,5 |
33,5 |
250 |
80 |
| 2C НВЗ -160Р1800 |
НВД-1800 |
НВД-600 |
НВЗ-160 |
1800 |
0,02 |
0,5 |
33,5 |
250 |
80 |
| 2C НВЗ -150Р2500 |
НВД-2500 |
НВД-600 |
НВЗ-150 |
2500 |
0,02 |
0,5 |
40,5 |
300 |
80 |
| 2C НВЗ -160Р2500 |
НВД-2500 |
НВД-600 |
НВЗ-160 |
2500 |
0,02 |
0,5 |
40,5 |
300 |
80 |
| 2C НВЗ -220Р2500 |
НВД-2500 |
НВД-600 |
НВЗ-220 |
2500 |
0,02 |
0,5 |
44,5 |
300 |
100 |
| 2C НВЗ -300Р5000 |
НВД-5000 |
НВД-1200 |
НВЗ-300 |
5000 |
0,02 |
0,5 |
70 |
400 |
100 |
| 2C НВЗ -600Р5000 |
НВД-5000 |
НВД-1800 |
НВЗ-600 |
5000 |
0,02 |
0,5 |
97 |
400 |
150 |
Стандартные системы на базе двух плунжерных насосов и каскада из 2-х Рутсов
| Модель |
Основной насос 50Гц |
Средний насос 50ГЦ |
Фор-
вакуумный насос |
Подача (л/с) |
Предель-
ное парциаль-
ное давление (Па) |
Предель-
ное общее давление (Па) |
Мощность двигателя (кВт) |
Впускное отверстие (мм) |
Выпускное отверстие (мм) |
| 2C НВЗ -15Р220 |
НВД-220 |
НВД-75 |
2НВЗ-15 |
220 |
0,01 |
0,3 |
8,4 |
100 |
40 |
| 2C НВЗ -30Р300 |
НВД-300 |
НВД-75 |
2НВЗ-30 |
300 |
0,01 |
0,3 |
10,2 |
150 |
50 |
| 2C НВЗ -45Р600 |
НВД-600 |
НВД-150 |
2НВЗ-45 |
600 |
0,01 |
0,3 |
14,5 |
200 |
50 |
| 2C НВЗ -50Р600 |
НВД-600 |
НВД-150 |
2НВЗ-50 |
600 |
0,01 |
0,3 |
14,5 |
200 |
50 |
| 2C НВЗ -70Р1200 |
НВД-1200 |
НВД-220 |
2НВЗ-70 |
1200 |
0,01 |
0,3 |
22,5 |
250 |
63 |
| 2C НВЗ -80Р1200 |
НВД-1200 |
НВД-300 |
2НВЗ-80 |
1200 |
0,01 |
0,3 |
22,5 |
250 |
63 |
| 2C НВЗ -100Р1200 |
НВД-1200 |
НВД-300 |
2НВЗ-100 |
1200 |
0,01 |
0,3 |
26 |
250 |
80 |
| 2C НВЗ -120Р1200 |
НВД-1200 |
НВД-300 |
2НВЗ-120 |
1200 |
0,01 |
0,3 |
26 |
250 |
80 |
| 2C НВЗ -150Р1800 |
НВД-1800 |
НВД-600 |
2НВЗ-150 |
1800 |
0,01 |
0,3 |
37,5 |
250 |
100 |
| 2C НВЗ -160Р1800 |
НВД-1800 |
НВД-600 |
2НВЗ-160 |
1800 |
0,01 |
0,3 |
37,5 |
250 |
100 |
| 2C НВЗ -220Р1800 |
НВД-1800 |
НВД-600 |
2НВЗ-220 |
1800 |
0,01 |
0,3 |
44,5 |
250 |
100 |
| 2C НВЗ -160Р2500 |
НВД-2500 |
НВД-600 |
2НВЗ-160 |
2500 |
0,01 |
0,3 |
44,5 |
300 |
100 |
| 2C НВЗ -220Р2500 |
НВД-2500 |
НВД-600 |
2НВЗ-220 |
2500 |
0,01 |
0,3 |
51,5 |
300 |
100 |
| 2C НВЗ -450Р5000 |
НВД-5000 |
НВД-1200 |
2НВЗ-450 |
5000 |
0,01 |
0,3 |
93 |
400 |
150 |
Примечание
Обозначения систем: 2-каскад из 2-х Рутсов, С-система, НВЗ или 2 НВЗ – марки плунжерного насоса, Р1500-производительность верхнего Рутса.
Пример
2С НВЗ70Р1200 – система из однокамерного насоса НВЗ 370 и двух Рутсов максимальной производительностью 1200л/с; 2С 2НВЗ-70Р1200 – система из двухкамерного насоса 2НВЗ-70 и двух Рутсов максимальной производительностью 1200л/с. |
| |
Контакты
|
Россия, 172386. Тверская область,
Ржев, Заводское шоссе, 2
Тел./факс: (48232) 2-40-37
E-mail:info@el-mech.ru
|
|
