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真空電子束重熔熔煉裝置
難熔金屬無坩堝區熔煉設備“BZP”
難熔金屬無坩堝區熔煉設備“BZP”
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難熔金屬無坩堝區熔煉設備“BZP”
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難熔金屬無坩堝區熔煉設備“BZP”
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目的。
「BZP」工廠設計用於使用環形陰極加熱器的無坩堝區域熔煉來精煉難熔金屬。
工廠及其組件的設計和運作。
「BZP」工廠是一個室式工廠,由機電、真空、能源、自動控制系統、供氣系統和水冷卻系統等綜合體組成。
工作室包含:
- 固定在頂部驅動器水冷桿的伸縮夾頭中的垂直位置的工件,
- 安裝在水冷工件驅動桿的夾頭夾具中的種子,
- 水冷底部驅動桿,
- 帶加熱器的電流引線,
- 防護屏。
桿可以垂直方向移動工件和種子並進行獨立旋轉。
真空系統在腔室內產生工作真空 (1*10
-4
– 1*10
-5
) mm Hg。
此後,透過區域熔化對工件進行精煉,以對其進行清潔。
真空系統由控制櫃啟動。 工藝過程由操作員控制台控制。
工廠操作員透過室門上的兩個檢查窗之一對製程進行視覺控制。 第二個視窗安裝有控制系統攝影機,用於監控製程。 觀察窗上安裝有濾光器,可可靠地保護操作員的眼睛免受輻射。
為了防止電子在產品上減速時產生的 X 射線輻射,真空室配有防護屏,並且在觀察窗中安裝了鉛玻璃。
製程過程中腔室中產生的過大壓力經由安全彈簧閥釋放。
控制系統。
工廠控制系統提供調節和指示主要和輔助參數的能力,包括:
- 單晶生長過程自動控制系統,在電腦顯示器上進行視覺化控制;
- 自動模式下調節並維護分配給加熱裝置的功率;
- 加速電壓、加熱器電流、陰極燈絲電流和加熱單元功率指示;
- 軟體控制下桿和上桿的工作和加速運動及旋轉的驅動器;
- 指示桿的旋轉和運動速度;
- 真空系統的單元和元件的控制;
- 測量熔化室內的殘餘壓力,範圍為 760 - 1∙10
-5
mmHg。
- 工廠水冷卻系統的水壓指示和緊急情況警報;
- 在操作員監視器上對錠的生長(精煉)過程進行視訊監控;
- 控制桿的運動和旋轉速度;
- 腔室內殘餘壓力的控制;
- 緊急燈和聲音警告;
- 在監視器上顯示自動控制單晶生長的製程參數(晶錠直徑、區域移動速度、區域直徑等),同時記錄到硬碟或可移動介質;
- 連續監測所有製程參數。
本設備由觸控螢幕顯示器自動控制。 所有訊息,包括緊急情況,都會顯示在顯示幕上。
工廠效益:
- 腔室由不銹鋼製成,並設有水冷套。 室的壁、底部和頂部被冷卻。
- 矩形滑動門採用水冷式套。 門口的尺寸允許自由進入位於室中的設備單元以進行維護、裝載/卸載產品以及維修室的內表面。
- 電子束加熱器(陰極單元)易於拆卸的設計。
- 陰極單元的可更換元件,用於生長不同材料和不同直徑的單晶。
- 使用頻閃燈保護玻璃觀察窗。
- 使用「變色龍」濾光片保護操作員免受光輻射。
主要技術特點
Mo、Nb單晶直徑,mm
10-40
W、Ta單晶直徑mm
10-30
單晶長度,mm
5-800
腔室容積,m
3
1.85
環式電子束加熱器
1
加熱器工作電壓,kV
2-12
加熱器工作電流,A
0.1-5
工廠供電
~380/220V,50Hz
壓縮空氣管網壓力,MPa (kgf/cm
2
)
0.4-0.6 (4-6)
腔室、門和真空幫浦的冷卻系統
水
冷卻系統水壓,MPa
0.2-0.4
種子和工件旋轉的運轉速度,rpm
5-50
熔融區移動操作速度,mm/min
0.5-10
種子和工件的加速移動,mm/min
2-200
額定/消耗功率,kW
35/43
外形尺寸(長*寬*高),mm
4300*4600*4360
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