Вакуумная установка «СШВ8-С» для вакуумного силицирования графитовых изделий

Вакуумная установка «СШВ8-С» для вакуумного силицирования графитовых изделий

Описание

Установка «СШВ8-С» для вакуумного силицирования графитовых изделий

Подробная информация PDF
Вакуумная установка «СШВ8-С» предназначена для вакуумного силицирования графитовых изделий.

Работа установки «СШВ8-С» заключается в нагреве обрабатываемого изделия в вакууме до определенной температуры, расплаве кварца в графитовом тигле и нанесении расплавленного кварца из тигля на поверхность изделия, расположенного на вращающемся столе методом душирования.

Состав установки «СШВ8-С»:
1. Крышка верхняя
2. Крышка нижняя
3. Камера нагрева
4. Механизм подъема и поворота
5. Устройство загрузочное
6. Электроразводка
7. Шкаф силовой
8. Шкаф управления
9. Пульт оператора
10. Пульт управления крышкой
11. Система вакуумная
12. Система водоохлаждения
13. Система пневматическая
14. Фундамент
15. Эстакада
16. Рампа напуска аргона

Конструктивно установка «СШВ8-С» выполнена в виде вакуумной камеры нагрева, расположенной на эстакаде. Камера нагрева выполнена цилиндрической формы и имеет крышку верхнюю и крышку нижнюю. К камере нагрева сбоку крепится механизм подъема и поворота. К механизму подъема крепится крышка верхняя и с помощью этого механизма осуществляется подъем и поворот крышки для проведения обслуживания камеры нагрева.
Снизу камеры нагрева, под эстакадой расположено устройство загрузочное, к которому крепится крышка нижняя. С помощью устройства загрузочного крышка нижняя имеет возможность передвигаться вверх и вниз, а также перемещаться в продольном направлении для осуществления операции установки силицируемого графитового изделия на поворотный стол крышки нижней. Устройство загрузочное имеет механизмы для передвижения по направляющим рельсам, расположенных в фундаменте.
Механизм подъема устройства загрузочного имеет возможность прижать крышку нижнюю к камере нагрева и осуществить герметизацию. Во время проведения технологического процесса силицирования крышки нижняя и верхняя находятся в прижатом положении к камере нагрева.

К камере нагрева крепится система вакуумная.
Под эстакадой располагается система пневматическая, система водоохлаждения, рампа напуска аргона.
Сбоку эстакады расположены шкаф силовой, шкаф управления, пульт оператора и трансформаторы для нагревателей камеры нагрева и крышки нижней. На самой камере нагрева и эстакаде расположены элементы системы электроразводки.
Крышка верхняя выполнена эллиптического типа из нержавеющей стали с водяной рубашкой охлаждения. На крышке расположено смотровое окно, предохранительный клапан, патрубки и кронштейн крепления к механизму подъема и поворота крышки.
Внутри крышки на специальных подвесках крепится теплоизоляция, выполненная из углеграфитового композиционного материала.
Крышка нижняя выполнена эллиптического типа из нержавеющей стали с водяной рубашкой охлаждения. На крышке имеются патрубки с тремя водоохлаждаемыми токоподводами. Снизу к крышке крепится механизм вращения и термопара. На внутренней части крышки нижней на специальные подставки крепится теплоизоляция, выполненная из углеграфитового композиционного материала. К токоподводам крепится графитовый нагреватель, расположенный ниже стола. Стол крепится на специальной оснастке к механизму вращения. Стол во время проведения технологического процесса силицирования вращается с помощью механизма вращения, прикрепленного снизу крышки. Токовыводы и вал механизма вращения имеют вакуумные уплотнения, обеспечивающие герметичность. Крышка нижняя крепится через специальные кронштейны к устройству загрузочному

Камера нагрева выполнена цилиндрической формы из нержавеющей стали и имеет водяную рубашку охлаждения. Камера нагрева располагается на эстакаде вертикально и крепится к кронштейнам в четырех точках, расположенных на верхней части эстакады.
Камера имеет три охлаждаемых токовывода и термопару для замера температуры тигля. Внутри камеры крепится теплоизоляция, выполненная из углекомпозиционных графитовых материалов, которая в свою очередь крепится к стальному экрану. Экран на кронштейнах крепится вместе с теплоизоляцией к корпусу камеры нагрева. Камера имеет необходимые кронштейны, выполненные из углеграфитовых материалов, на которых крепится плавильный графитовый тигель, а также графитовый нагреватель. Камера нагрева имеет патрубок для подсоединения к вакуумной системе.

Механизм подъема и поворота имеет винтовую пару и кронштейн, к которому крепится крышка верхняя. Кронштейн вставляется в направляющую трубу с поворотным пазом. К направляющей трубе снизу крепится редуктор с электродвигателем. Весь механизм подъема и поворота крепится вертикально к корпусу камеры нагрева.
Устройство загрузочное представляет собой платформу, имеющую четыре колеса, два из них ведущие, соединенные общей осью с редуктором перемещения через цепную передачу. На платформе располагаются два домкрата, выполненные в виде прямоугольных стоек. Внутри стоек располагается винтовая пара, соединенная через конические шестерни с осью механизма подъема. Стойки имеют пазы и направляющие, по которым перемещаются опоры. Опоры крепятся к крышке нижней. Устройство загрузочное перемещается по рельсовому пути, расположенному на фундаменте.

Электроразводка предназначена для обеспечения подвода электропитания к нагревателям от трансформаторов и обеспечения питанием цепей управления механизмов узлов, имеющих электропривода. Электроразводка имеет ошиновку, жгуты и защитные кожухи и короба, в которых укладываются провода. Для изучения конструкции электроразводки необходимо пользоваться чертежом и схемой электрической соединений.
Шкаф силовой, шкаф управления, пульт оператора и пульт управления крышкой предназначены для обеспечения бесперебойной работы и управления технологическим процессом, выполняемыми на установке.

Система вакуумная предназначена для создания вакуума в объеме камеры и напуска инертного газа в нее при охлаждении изделия.
На вакуумной системе все клапаны и затворы выполнены с пневмоприводом.
Для напуска инертного газа (аргон) в камеру предназначена рампа напуска.

Система пневматическая предназначена для управления пневмоприводами вакуумных затворов. Для изучения конструкции необходимо пользоваться чертежом и схемой принципиальной пневматической. Система пневматическая включает блок подготовки воздуха, панели пневмораспределителей и трубопроводы.

Система водоохлаждения предназначена для подачи и слива воды, необходимой для охлаждения систем вакуумных насосов в процессе проведения технологического режима. Система водоохлаждения разделена на два контура и состоит из напорно-сливных коллекторов. Один контур охлаждает вакуумную систему, а другой рубашки днищ крышек, токовводы камеры, тиристоры и саму камеру.

Основные технические
характеристики

Максимальная температура, °С
2000
Температура расплава кремния, °С
1600
Предельное остаточное давление, Па (мм.рт.ст.)
6,65*10 -1 (5*10 -3)
Натекание, лПа/с (л.мм.рт.ст/с)
0,7 (5,25)
Габариты рабочего пространства (Ø*В), мм
1300*1000
Габариты обрабатываемого изделия(Ø*В), мм
1250*1000
Время выхода на рабочую температуру, ч
3
Время силицирования, ч
1 - 1,5
Расход охлаждающей воды, м 3
15
Объем камеры, м 3
5,65
Габаритные размеры установки (Д*Ш*В), мм
7200*7430*5120
Уровень шума, дБа
80
Напряжение питающей сети, В
400
Номинальная частота, Гц
50
Число фаз
3
Установленная мощность, кВт
420
Подробная информация PDF
Отправить запрос
Например: Иванов Иван Иванович
Например: +79851111111
Например: example@domain.com
Разрешенные расширения: doc, docx, pdf, png, jpeg, jpg, xls, xlsx, rtf, ppt, pptp, pptx (Для загрузки нескольких файлов, выбирайте их зажав кнопку ctrl)
Прошлое
Настоящее
Будущее
RU CN EN